當(dāng)需要對晶圓樣品的電路圖案和顏色進行顯微觀察時，傳統(tǒng)的方法是對前者進行暗場照明、對后者進行明場照明，并在這兩種技術(shù)之間反復(fù)切換。因為在創(chuàng)建報告時需要為每種技術(shù)采集圖像，所以這種觀察方法非常耗時。

             晶圓明場                                                                       晶圓暗場

用于執(zhí)行半導(dǎo)體/FPD檢測的MX63/MX63L工業(yè)顯微鏡提供了一種可有效替代傳統(tǒng)觀察方法的解決方案：MIX 照明功能。利用MIX照明功能，可同時觀察晶圓的電路圖案和顏色信息。MIX圖像的銳度和清晰度可幫助提高工作效率和改進報告生成過程。

              晶圓MIX

來源：奧林巴斯網(wǎng)站